|
Подробная информация о продукте:
|
Название продукта: | Вафля Sic эпитаксиальная | Форма Кристл: | 4h |
---|---|---|---|
Диаметр: | 150,0 мм+0,0/-0,2 мм | Поверхностная ориентация: | {0001}±0,2° |
Длина основной опорной кромки: | Выемка | Длина вторичной опорной кромки: | Нет вспомогательных ребер |
Выделить: | Пластина SiC 4H 150 мм,подложка SiC 350 мкм,пластина SiC 4H 6 дюймов |
6-дюймовая подложка 4H-SiC D-уровня SI-типа 350,0±25,0 мкм MPD≤5/см2 Удельное сопротивление≥1E5Ом·см для силовых и микроволновых устройств
Обзор
Размер для улучшения производства
Благодаря размеру пластины 150 мм мы предлагаем производителям возможность использовать улучшенную экономию за счет масштаба по сравнению с изготовлением устройств размером 100 мм.Наши пластины SiC диаметром 150 мм обладают неизменно превосходными механическими характеристиками, что обеспечивает совместимость с существующими и развивающимися процессами изготовления устройств.
6-дюймовая полуизолирующая подложка 4H-SiC |
|||
Производительность продукта | п | Д | |
Кристаллическая форма | 4 часа | ||
Политипный | Не разрешать | Площадь≤5% | |
Плотность микротрубкиа | ≤0,5/см2 | ≤5/см2 | |
Шесть квадратов пусты | Не разрешать | Площадь≤5% | |
Гибридный кристалл с шестигранной поверхностью | Не разрешать | ||
упаковкаа | Площадь≤0,05% | Н/Д | |
Удельное сопротивление | ≥1E9 Ом·см | ≥1E5Ом·см | |
(0004) РД Половина ширины кривой качания (FWHM) |
≤45 угловых секунд |
Н/Д |
|
Диаметр | 150,0 мм+0,0/-0,2 мм | ||
Ориентация поверхности | {0001}±0,2° | ||
Длина основной опорной кромки | Выемка | ||
Длина вторичной опорной кромки | Нет вспомогательных ребер | ||
Ориентация выреза | <1-100>±1° | ||
Угол выреза | 90° +5°/-1° | ||
Степень глубины выреза | От края 1 мм +0,25 мм/-0 мм | ||
подготовка поверхности | C-Face: зеркальная полировка, Si-Face: химико-механическая полировка (CMP) | ||
Край вафли | фаска кромки пластины | ||
Шероховатость поверхности (10 мкм × 10 мкм)
|
Поверхность кремния Ra≤0,2 нм C-грань Ra≤0,5 нм
|
||
толщина |
350,0 мкм ± 25,0 мкм
|
||
LTV(10мм×10мм)а |
≤2 мкм
|
≤3 мкм
|
|
ТТВа |
≤6 мкм
|
≤10 мкм
|
|
Поклона |
≤25 мкм
|
≤40 мкм
|
|
Деформацияа |
≤40 мкм
|
≤60 мкм
|
|
Сломанный край / разрыв | Не допускаются обрывные кромки длиной и шириной ≥0,5 мм. | ≤2 и каждая длина и ширина ≤1,0 мм | |
царапатьа | ≤5И общая длина≤0,5 диаметра | ≤5, а общая длина≤1,5 раза больше диаметра | |
недостаток | не разрешать | ||
загрязнение | не разрешать | ||
Удаление края |
3 мм |
Примечание. Исключение края 3 мм используется для элементов, отмеченныха.
О нас
Мы специализируемся на переработке различных материалов в пластины, подложки и индивидуальные детали из оптического стекла. Компоненты широко используются в электронике, оптике, оптоэлектронике и многих других областях.Мы также тесно сотрудничаем со многими отечественными и зарубежными университетами, научно-исследовательскими институтами и компаниями, предоставляя индивидуальные продукты и услуги для их научно-исследовательских проектов.Наше видение - поддерживать хорошие отношения сотрудничества со всеми нашими клиентами благодаря нашей хорошей репутации.
Часто задаваемые вопросы
В: вы торговая компания или производитель?
Мы фабрика.
Q: Как долго ваше время доставки?
Обычно это 3-5 дней, если товар есть на складе.
или 7-10 дней, если товара нет на складе, в зависимости от количества.
Q: Предоставляете ли вы образцы?это бесплатно или дополнительно?
Да, мы можем предложить образец бесплатно, но не оплачиваем стоимость перевозки.
В: Каковы ваши условия оплаты?
Оплата <=5000USD, 100% предоплата.
Paymen> = 5000USD, 80% T/T заранее, остаток перед отправкой.
Контактное лицо: Xiwen Bai (Ciel)
Телефон: +8613372109561