Подробная информация о продукте:
|
Название продукта: | Вафля Sic эпитаксиальная | Диаметр: | 100,0 мм+0,0/-0,5 мм |
---|---|---|---|
Поверхностная ориентация: | {0001}±0,2° | Длина основной опорной кромки: | 32,5 мм ± 2,0 мм |
Край вафли: | угол фаски | Толщина: | 500,0±25,0 мкм |
JDCD03-002-001 4-дюймовая подложка 4H-SiC P-уровень SI 500,0±25,0 мкм MPD≤0,3/см2 Удельное сопротивление≥1E9Ω·см для силовых и микроволновых устройств
Обзор
SiC имеет более высокую теплопроводность, чем GaAs или Si, а это означает, что устройства SiC теоретически могут работать с более высокой плотностью мощности, чем GaAs или Si.Более высокая теплопроводность в сочетании с широкой запрещенной зоной и высоким критическим полем дает полупроводникам SiC преимущество, когда высокая мощность является ключевым желательным свойством устройства.
В настоящее время карбид кремния (SiC) широко используется в приложениях большой мощности.SiC также используется в качестве подложки для эпитаксиального выращивания GaN для еще более мощных устройств.
4-дюймовая полуизолирующая подложка 4H-SiC |
|||
Производительность продукта | Р-уровень | уровень D | |
Кристаллическая форма | 4 часа | ||
Политипный | Не разрешать | Площадь≤5% | |
Плотность микротрубкиа | ≤0,3/см2 | ≤5/см2 | |
Шесть квадратов пусты | Не разрешать | Площадь≤5% | |
Гибридный кристалл с шестигранной поверхностью | Не разрешать | Площадь≤5% | |
упаковкаа | Площадь≤0,05% | Н/Д | |
Удельное сопротивление | ≥1E9 Ом·см | ≥1E5Ом·см | |
(0004) XRD Половина высоты и ширины кривой качания (FWHM) |
≤45 угловых секунд |
Н/Д |
|
Диаметр | 100,0 мм+0,0/-0,5 мм | ||
Ориентация поверхности | {0001}±0,2° | ||
Длина основной опорной кромки |
32,5 мм ± 2,0 мм
|
||
Длина вторичной опорной кромки | 18,0 мм ± 2,0 мм | ||
Ориентация основной базовой плоскости | параллельно<11-20> ± 5,0˚ | ||
Ориентация вторичной базовой плоскости | 90 ° по часовой стрелке к основной базовой плоскости ˚ ± 5,0 ˚, лицевой стороной Si вверх | ||
подготовка поверхности | C-Face: зеркальная полировка, Si-Face: химико-механическая полировка (CMP) | ||
Край вафли | угол фаски | ||
Шероховатость поверхности (5 мкм × 5 мкм)
|
Поверхность кремния Ra<0,2 нм
|
||
толщина |
500,0±25,0 мкм
|
||
LTV(10мм×10мм)а |
≤2 мкм
|
≤3 мкм
|
|
ТТВа |
≤6 мкм
|
≤10 мкм
|
|
Поклона |
≤15 мкм
|
≤30 мкм
|
|
Деформацияа |
≤25 мкм
|
≤45 мкм
|
|
Сломанный край / разрыв | Обрывы кромок длиной и шириной 0,5 мм не допускаются. | ≤2 и каждая длина и ширина 1,0 мм | |
царапатьа | ≤4, а общая длина в 0,5 раза больше диаметра | ≤5, а общая длина в 1,5 раза больше диаметра | |
недостаток | не разрешать | ||
загрязнение | не разрешать | ||
Удаление края |
3 мм |
Примечание. Исключение края 3 мм используется для элементов, отмеченныха.
О нас
Мы специализируемся на переработке различных материалов в пластины, подложки и индивидуальные детали из оптического стекла. Компоненты широко используются в электронике, оптике, оптоэлектронике и многих других областях.Мы также тесно сотрудничаем со многими отечественными и зарубежными университетами, научно-исследовательскими институтами и компаниями, предоставляя индивидуальные продукты и услуги для их научно-исследовательских проектов.Наше видение - поддерживать хорошие отношения сотрудничества со всеми нашими клиентами благодаря нашей хорошей репутации.
Часто задаваемые вопросы
В: вы торговая компания или производитель?
Мы фабрика.
Q: Как долго ваше время доставки?
Обычно это 3-5 дней, если товар есть на складе.
или 7-10 дней, если товара нет на складе, в зависимости от количества.
Q: Предоставляете ли вы образцы?это бесплатно или дополнительно?
Да, мы можем предложить образец бесплатно, но не оплачиваем стоимость перевозки.
В: Каковы ваши условия оплаты?
Оплата <=5000USD, 100% предоплата.
Paymen> = 5000USD, 80% T/T заранее, остаток перед отправкой.
Контактное лицо: Xiwen Bai (Ciel)
Телефон: +8613372109561