1Основная конфигурация системы оборудования
1.1очертание
Быстрая термическая обработка - это вертикальная полуавтоматическая 8-дюймовая печь для быстрой отжигания пластин, которая использует два слоя инфракрасных галогенных ламп в качестве источников тепла для нагрева.Внутренняя кварцевая полость изолирована и изолирована, а внешняя оболочка полости изготовлена из водоохлаждаемого алюминиевого сплава, обеспечивающего равномерное нагревание продукта и низкую температуру поверхности.
Быстрая термическая обработка использует управление PID, и система может быстро регулировать выходную мощность инфракрасных галогенных ламп, что делает управление температурой более точным.
1.2Особенности продукта
Двухслойное инфракрасное нагревание галогенной лампы трубкой, быстрое охлаждение азотом;
Независимо разработанное группированное расположение лампочек для улучшения равномерности температуры;
Использование PID-алгоритмов управления, регулирование мощности лампы в режиме реального времени;
Учетные записи пользователей разделены на три уровня разрешений для удобного управления информацией;
Основной интерфейс программного обеспечения может отображать параметры в режиме реального времени, такие как газ, температура, степень вакуума и т. д.;
Система автоматически сохраняет соответствующую информацию для каждого процесса;
Автоматически распознает сообщения об ошибках и защищает устройство в случае сбоев:
Выявление перегрева: температура водоохлаждаемого алюминиевого сплава на внешней оболочке камеры превышает 70 °C.
Выявление термопары: в процессе работы системы значение мониторинга термопары не соответствует установленному значению.
Выявление нагрева: аномальная выходная мощность во время нагрева.
Выявление замка двери печи: проверяйте, заперты ли дверные замки перед каждым процессом.
Выявление газа: давление газа превышает установленный диапазон, давление газа слишком высокое или слишком низкое.
Определение потока воды: скорость поступления воды ниже значения по умолчанию.
Выявление утечки: обнаружено утечка.
Аварийный выключатель остановки: немедленно остановить процесс и отключить источник тепла.
1.3.Быстрая термическая обработкапромышленное применение
Ионная имплантация отжига
Быстрое отжигание после нанесения покрытия ITO
окись
Рост нитридов
Отжигание силицидных сплавов
Процесс арсенида галлия
Сплав быстрого контакта с охмом
Окислительный рефлюкс
Прочие процессы быстрой тепловой обработки полупроводников
2Конфигурация основного оборудования
2.1Общие параметры оборудования
| RTP-SA-8 |
| Максимальный размер продукта |
Вафли размером 8 дюймов и ниже |
| Размеры оборудования |
970 мм x 1450 мм x 2024 мм (ширина x глубина x высота) |
|
Диапазон температур нагрева
|
Температура в помещении ~ 800 °C (термопары)
800 °C~1250 °C (инфракрасный пирометр)
|
|
скорость нагрева
|
150 °C/s голая пластина
20 °C/s наносители карбида кремния
|
|
Однородность температуры
|
< 500 °C, однородность ≤ ± 5 °C
≥ 500 °C, однородность ≤ ± 1%
|
| Повторяемость контроля температуры |
± 1°C |
| Продолжительность постоянной температуры |
Программируемый по требованиям |
2.2Конфигурационный контрольный список
Стандартная конфигурация
| Число |
Имя |
Модель спецификации |
Описание характеристик/параметров |
Количество |
Единица |
| 1 |
Быстрая термическая обработка |
RTP-SA-8 |
Внешние размеры: 970*1450*2024
(ширина х глубина х высота)
|
1 |
набор |
| (1) |
Корпус печи |
LT-08 |
Водоохлаждаемая позолоченная камера из алюминиевого сплава |
1 |
набор |
| (2) |
Вакуумная камера |
SQ-08 |
Кварцевая полость высокой чистоты |
1 |
набор |
| (3) |
Галогенная трубка |
D8-20 |
2 кВт/комплект |
33 |
кусочек |
| (4) |
Кварцевая стойка |
SJ-08 |
Кварц высокой чистоты (8 ") |
1 |
набор |
| (5) |
Графитное кольцо |
--- |
графит |
1 |
набор |
| (6) |
Термопары для измерения температуры |
K-08G |
Тип K ±1,5°C или ±0,4%t |
2 |
набор |
| (7) |
Промышленный компьютер |
IPC-510 |
dvantech Industrial Control, 10-е поколение i5 1 набор |
1 |
набор |
| (8) |
дисплей |
/ |
210,5-дюймовый дисплей |
1 |
кусочек |
| (9) |
МФК |
MC-1601L(10L),
MC-1602L ((100L)
|
Warwick GN2/PN2/O2/N2
Резервировать один газопровод для 5 газопроводов
|
5 |
набор |
| 10 |
Холодильник |
KBE-5A |
Мощность охлаждения: 14,8 КВт |
1 |
кусочек |
| 11 |
вакуумный насос |
SP600 |
Скорость насоса 522 л/мин |
1 |
набор |
| 12 |
Инфракрасный пирометр |
/ |
/ |
1 |
набор |
2.3.Общие расходные материалы
| Число |
Имя |
Модель спецификации |
Единица |
Цикл обслуживания |
| 1 |
Графитное кольцо |
RTP-SiC-8 |
ЕА |
Поврежденная замена |
| 2 |
Кварцевая доска |
RTP-QC-8 |
ЕА |
Поврежденная замена |
| 3 |
Кварцевая стойка |
RTP-QS-8 |
ЕА |
Поврежденная замена |
| 4 |
Кварцевая трубка |
RTP-QT-8 |
ЕА |
Поврежденная замена |
| 5 |
Ламповая трубка |
RTP-HT-8 |
ЕА |
2000 часов |
| 6 |
О-кольцо |
RTP-Or-8 |
ЕА |
один год |
| 7 |
Термопары типа K |
КТ-800 |
ЕА |
3Мон |
| 8 |
Содержание вакуумных насосов |
/ |
ЕА |
один год |
| 9 |
Проверка МФК |
/ |
ЕА |
один год |
3.Проверка внешнего вида и требования временного хранения перед установкой оборудования при ввозе
- После того, как оборудование поставщика прибывает, сторона А отвечает за проверку количества единиц и упаковки, чтобы убедиться, что они не повреждены, и отвечает за хранение;Мы также должны помочь Шанхай Ганова в транспортировке оборудования на место установки, обеспечивая удобство установки.
- Сохранность внутренней и внешней упаковки оборудования, наличие очевидных повреждений, царапин или обесцвечивания краски
- Есть ли грязь или ржавчина внутри и снаружи машины
- Проверьте, совпадают ли маркировки на табличке с оборудованием
- В соответствии со стандартной конфигурацией оборудования в настоящем техническом соглашении, подсчитывать каждый элемент по одному и заполнять данные о запасных частях и аксессуарах,а также название программного обеспечения в записи разборки для обеспечения полной конфигурации.
- Хост и внутренние компоненты совершенно нового устройства должны быть совершенно новыми
- Храните оборудование в чистом помещении, свободном от вибраций
Ваше сообщение должно содержать от 20 до 3000 символов!
