|
Подробная информация о продукте:
|
| Максимальный размер продукта: | Вафли размером 8 дюймов и ниже | Размеры оборудования: | 970 мм x 1450 мм x 2024 мм (ширина x глубина x высота) |
|---|---|---|---|
| Нагревая диапазон температур: | Температура в помещении ~ 800 °C (термопары) 800 °C ~ 1250 °C (инфракрасный пирометр) | Скорость нагрева: | 150 °C/s голая пластина 20 °C/s носитель карбида кремния |
| Однородность температуры: | < 500 °C, однородность ≤ ± 5 °C ≥ 500 °C, однородность ≤ ± 1% | Повторяемость контроля температуры: | ± 1°C |
| Продолжительность постоянной температуры: | Программируемый по требованиям | ||
| Выделить: | Ускорить производство быстрой термической обработки,Система быстрого термообработки |
||
Быстрая термическая обработка - это вертикальная полуавтоматическая 8-дюймовая печь для быстрой отжигания пластин, которая использует два слоя инфракрасных галогенных ламп в качестве источников тепла для нагрева.Внутренняя кварцевая полость изолирована и изолирована, а внешняя оболочка полости изготовлена из водоохлаждаемого алюминиевого сплава, обеспечивающего равномерное нагревание продукта и низкую температуру поверхности.
Быстрая термическая обработка использует управление PID, и система может быстро регулировать выходную мощность инфракрасных галогенных ламп, что делает управление температурой более точным.
Двухслойное инфракрасное нагревание галогенной лампы трубкой, быстрое охлаждение азотом;
Независимо разработанное группированное расположение лампочек для улучшения равномерности температуры;
Использование PID-алгоритмов управления, регулирование мощности лампы в режиме реального времени;
Учетные записи пользователей разделены на три уровня разрешений для удобного управления информацией;
Основной интерфейс программного обеспечения может отображать параметры в режиме реального времени, такие как газ, температура, степень вакуума и т. д.;
Система автоматически сохраняет соответствующую информацию для каждого процесса;
Автоматически распознает сообщения об ошибках и защищает устройство в случае сбоев:
Выявление перегрева: температура водоохлаждаемого алюминиевого сплава на внешней оболочке камеры превышает 70 °C.
Выявление термопары: в процессе работы системы значение мониторинга термопары не соответствует установленному значению.
Выявление нагрева: аномальная выходная мощность во время нагрева.
Выявление замка двери печи: проверяйте, заперты ли дверные замки перед каждым процессом.
Выявление газа: давление газа превышает установленный диапазон, давление газа слишком высокое или слишком низкое.
Определение потока воды: скорость поступления воды ниже значения по умолчанию.
Выявление утечки: обнаружено утечка.
Аварийный выключатель остановки: немедленно остановить процесс и отключить источник тепла.
Ионная имплантация отжига
Быстрое отжигание после нанесения покрытия ITO
окись
Рост нитридов
Отжигание силицидных сплавов
Процесс арсенида галлия
Сплав быстрого контакта с охмом
Окислительный рефлюкс
Прочие процессы быстрой тепловой обработки полупроводников
| RTP-SA-8 | |
| Максимальный размер продукта | Вафли размером 8 дюймов и ниже |
| Размеры оборудования | 970 мм x 1450 мм x 2024 мм (ширина x глубина x высота) |
|
Диапазон температур нагрева |
Температура в помещении ~ 800 °C (термопары) 800 °C~1250 °C (инфракрасный пирометр) |
|
скорость нагрева |
150 °C/s голая пластина 20 °C/s наносители карбида кремния |
|
Однородность температуры
|
< 500 °C, однородность ≤ ± 5 °C ≥ 500 °C, однородность ≤ ± 1% |
| Повторяемость контроля температуры | ± 1°C |
| Продолжительность постоянной температуры | Программируемый по требованиям |
Стандартная конфигурация
| Число | Имя | Модель спецификации | Описание характеристик/параметров | Количество | Единица |
| 1 | Быстрая термическая обработка | RTP-SA-8 |
Внешние размеры: 970*1450*2024 (ширина х глубина х высота) |
1 | набор |
| (1) | Корпус печи | LT-08 | Водоохлаждаемая позолоченная камера из алюминиевого сплава | 1 | набор |
| (2) | Вакуумная камера | SQ-08 | Кварцевая полость высокой чистоты | 1 | набор |
| (3) | Галогенная трубка | D8-20 | 2 кВт/комплект | 33 | кусочек |
| (4) | Кварцевая стойка | SJ-08 | Кварц высокой чистоты (8 ") | 1 | набор |
| (5) | Графитное кольцо | --- | графит | 1 | набор |
| (6) | Термопары для измерения температуры | K-08G | Тип K ±1,5°C или ±0,4%t | 2 | набор |
| (7) | Промышленный компьютер | IPC-510 | dvantech Industrial Control, 10-е поколение i5 1 набор | 1 | набор |
| (8) | дисплей | / | 210,5-дюймовый дисплей | 1 | кусочек |
| (9) | МФК |
MC-1601L(10L), MC-1602L ((100L) |
Warwick GN2/PN2/O2/N2 Резервировать один газопровод для 5 газопроводов |
5 | набор |
| 10 | Холодильник | KBE-5A | Мощность охлаждения: 14,8 КВт | 1 | кусочек |
| 11 | вакуумный насос | SP600 | Скорость насоса 522 л/мин | 1 | набор |
| 12 | Инфракрасный пирометр | / | / | 1 | набор |
2.3.Общие расходные материалы
| Число | Имя | Модель спецификации | Единица | Цикл обслуживания |
| 1 | Графитное кольцо | RTP-SiC-8 | ЕА | Поврежденная замена |
| 2 | Кварцевая доска | RTP-QC-8 | ЕА | Поврежденная замена |
| 3 | Кварцевая стойка | RTP-QS-8 | ЕА | Поврежденная замена |
| 4 | Кварцевая трубка | RTP-QT-8 | ЕА | Поврежденная замена |
| 5 | Ламповая трубка | RTP-HT-8 | ЕА | 2000 часов |
| 6 | О-кольцо | RTP-Or-8 | ЕА | один год |
| 7 | Термопары типа K | КТ-800 | ЕА | 3Мон |
| 8 | Содержание вакуумных насосов | / | ЕА | один год |
| 9 | Проверка МФК | / | ЕА | один год |
Контактное лицо: Xiwen Bai (Ciel)
Телефон: +8613372109561
