система 150mm быстрая термальная обжигая с 3 газами наборов отростчатыми

Система RTP-150RL быстрая термальная обжигая с 3 газами наборов отростчатыми

RTP-150RL:
В атмосфере защиты настольной ручной быстрой обжигать системы, с ультракрасным видимым светом нагревая одиночные вафлю или образец части, короткое время процесса, высокотемпературная точность контроля, соответствующая для вафли дюйма 2-6. Свои уникальный дизайн полости, предварительная технология контроля температуры и уникальная система управления RL900 над обычными системами печи диффузии обжигая обеспечивают превосходное термальное единообразие сравненное с другими системами RTP.

Характеристики продукта:

1. Ультракрасное топление трубки лампы галоида, охлаждая используя воздушное охлаждение.

2. Контроль температуры PID силы трубки, может точно контролировать топление температуры, для обеспечения хорошего единообразия воспроизводимости и температуры.

3. Параллельный метод забора воздуха принят, и вход газа набор на поверхности вафли для избежания холодных пунктов во время обжигая процесса и для обеспечения хорошего единообразия температуры продукта.

4. Воздух и методы лечения вакуума можно выбрать, перед обработкой очищения газа воздуха входа.

5. Стандарт с 3 наборами отростчатых газов.

6. Максимальный размер измеряемого одиночного образца вафли 6 дюймов (150mm).

7. Тройные меры безопасности предохранения от температуры безопасности печи раскрывая, предохранения от власти регулятора температуры раскрывая и предохранения от безопасности аварийной остановки оборудования приняты для обеспечения безопасности аппаратур.